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CleanControlling:Particle trap 30001颗粒捕集器

德国CleanControlling的Particle trap 30001颗粒捕集器是一款专为高精度颗粒污染物收集与分析设计的工业级设备,主要应用于洁净室、半导体制造、制药、精密光学等对清洁度要求严苛的场景。其核心目标是通过高效、稳定的颗粒捕集技术,为环境监测、工艺验证及质量控制提供可靠的样本支持,尤其擅长应对亚微米级颗粒(0.1μm-5μm)的捕集需求。以下从技术原理、设计特点、操作流程及应用价值等方面展开详细说明:
技术原理:多机制协同的高效捕集
Particle trap 30001的捕集原理基于惯性碰撞、扩散沉积与重力沉降的复合机制,通过优化的气流路径与结构设计,实现对不同粒径颗粒的高效富集。其核心流程如下:
主动采样:设备内置无刷直流气泵,可提供稳定的采样流量(0.1-5L/min可调),通过采样探头将含颗粒的空气吸入捕集腔。流量可根据需求精准调节(误差≤±1%),适配不同场景(如洁净室低浓度环境需小流量慢采,高污染区域需大流量快速富集)。
多级分离与捕集:含颗粒气流首先经过预过滤层(孔径2-5μm),拦截大颗粒(>5μm),避免堵塞后续精密结构;随后进入主捕集区,该区域采用“螺旋形碰撞腔”设计——气流在螺旋通道内高速旋转,产生离心力,使颗粒因惯性偏离气流中心,撞击在腔壁的粘性涂层(如特氟龙改性硅胶)上;未被离心力捕获的亚微米级颗粒(<1μm)则通过扩散效应(布朗运动)沉积在涂层的微孔结构中,最终实现0.1μm-20μm颗粒的高效捕集(对0.5μm颗粒捕集效率≥99.5%)。
防再释放设计:捕集涂层具有低挥发性(VOCs排放趋近于零)与高附着力,确保颗粒一旦附着便不会因气流扰动或温度变化重新进入空气,避免二次污染。
结构设计:紧凑、耐用与低干扰的平衡
Particle trap 30001的结构设计充分考虑了工业场景的实用性,核心特点包括:
1. 模块化与便携性
设备主体采用铝合金框架与工程塑料(如POM聚甲醛)外壳,重量仅约2.5kg,可手持或固定于三脚架、墙面支架上;采样探头与主机通过快接接口连接(支持360°旋转),便于深入设备缝隙、管道内部等复杂区域采样。部分型号可选配延长杆(最长1.5米),适应高位或狭窄空间的采样需求。
2. 低干扰与洁净设计
气流优化:采样通道与捕集腔均采用平滑曲面设计(Ra≤0.8μm表面粗糙度),减少气流湍流,避免设备运行时自身产生额外颗粒(符合ISO 14644对“采样设备低析出”的要求);
无静电材质:关键部件(如探头、涂层)经抗静电处理(表面电阻率≤10⁹Ω),防止颗粒因静电吸附在非捕集区域(如设备内壁),确保样本完整性;
密封防护:采样探头与主机连接处采用双重O型圈密封(氟橡胶材质,耐化学腐蚀),避免采样过程中外界空气泄漏,保证捕集颗粒的代表性。
3. 易维护与长寿命
模块化滤芯:捕集涂层集成于可拆卸的“滤芯模块”(尺寸φ47mm×10mm),用户可通过卡扣轻松更换(单次更换耗时<1分钟);滤芯支持高温高压灭菌(121℃/0.1MPa,30分钟),符合GMP对生物安全场景的清洁要求;
可视窗口:主机侧面设有透明观察窗(防刮擦聚碳酸酯材质),可实时检查滤芯的污染状态(如颜色变化或颗粒堆积厚度),提示及时更换;
低维护成本:无复杂机械部件(如无弹簧、齿轮),仅需定期清洁采样通道(用无水乙醇擦拭)即可保持性能稳定,维护周期长达6-12个月(视使用频率)。
核心性能:适配多场景的精准性1. 宽粒径覆盖与高捕集效率
Particle trap 30001对0.1μm-20μm颗粒的捕集效率均≥99%(经ISO 29463-1标准认证),尤其针对半导体行业关注的0.1μm-1μm亚微米颗粒优化(捕集效率≥98.5%),可直接用于EUV光刻车间、MEMS制造等超洁净环境的颗粒监测。
2. 数据可追溯与兼容性
内置存储与传输:设备配备8GB闪存,可自动记录每次采样的时间、流量、环境温湿度(需外接温湿度传感器)及滤芯编号,生成CSV格式数据文件,支持USB导出或蓝牙传输至电脑;
软件协同分析:可与CleanControlling自研的CleanVision分析软件对接,导入采样数据后自动生成颗粒浓度报告(颗粒数/m³),并结合显微镜拍摄的颗粒图像(如尺寸分布、形态)形成综合分析报告,满足ISO 14644、VDA 19.2等标准的合规性要求;
第三方认证:通过TÜV南德认证(符合ISO 14644-1)、欧盟CE认证(低电磁干扰)及FDA 21 CFR Part 11(电子记录可追溯),适用于制药、半导体等对数据可靠性要求极高的行业。
操作流程:从采样到分析的全流程指南步骤1:采样前准备
环境确认:检查采样区域温湿度(建议控制在20-25℃,30-60%RH),避免高湿度(>70%RH)导致颗粒吸湿团聚;
设备校准:首次使用或长期停用后,需用标准颗粒发生器(如TSI 3306)校准流量与捕集效率,确保数据准确性;
滤芯安装:取出新的滤芯模块,在洁净环境(ISO 7级及以上)中装入主机,确保密封圈完全贴合。
步骤2:现场采样
采样位置选择:根据监测目标(如环境空气、零部件表面)确定采样点:
环境空气采样:将探头距地面1.2-1.5米(人体呼吸高度),避开空调风口、设备出风口等干扰气流区;
零部件表面采样:将探头贴近表面(距离≤2mm),缓慢移动(速度≤5cm/s),模拟颗粒自然沉积的最不利场景;
参数设置:根据标准或需求设置采样流量(如半导体车间选1L/min,制药车间选2L/min)与采样时间(如10-15分钟);
启动采样:按下启动键,设备自动运行并实时显示流量、累计采样体积;采样完成后,设备发出蜂鸣提示,自动密封滤芯模块。
步骤3:样本处理与分析
样本转移:在超净台(ISO 5级)中取出滤芯模块,避免二次污染;若需称重法分析(质量浓度),可将滤芯放入干燥箱(105℃,2小时)去除水分后称重(精度0.1mg);
颗粒观察:将滤芯置于立体显微镜(如Zeiss Stemi 508)下,使用0.1μm分辨率的CCD相机拍摄颗粒图像,分析颗粒大小(精度±0.1μm)、形态(球形/片状/纤维状)及分布模式(均匀/聚集);
数据整合:将CleanVision生成的报告与显微镜图像关联,标注超标颗粒的位置与特征,结合环境日志(如设备运行时间、人员活动)定位污染源。
典型应用场景
半导体制造:用于晶圆载具、光刻机腔室的空气颗粒监测,确保0.1μm级颗粒浓度符合EUV光刻工艺要求(如ISO 1级洁净室);
制药与生物科技:在无菌制剂灌装区、培养基制备间部署,监测空气中微生物颗粒(如细菌、真菌孢子)及载体颗粒(如蛋白质凝块),验证HVAC系统的有效性;
精密光学与电子:在镜头组装车间、芯片封装产线中,通过捕集颗粒分析污染物来源(如润滑油雾滴、塑料碎屑),预防光学元件划痕或电路短路;
实验室与医疗:用于超净台、生物安全柜的定期验证,确保实验或手术环境的清洁度符合ISO 7级标准(如每立方米≥0.5μm颗粒≤3,520个)。
优势与行业价值
高效稳定:对亚微米级颗粒的高捕集效率(≥98.5%)与稳定的流量控制(误差≤±1%),确保数据可靠性;
灵活适配:可调节流量、可更换滤芯设计,支持环境空气、零部件表面等多种采样场景;
合规性强:通过多项国际认证(ISO、TÜV、FDA),数据可直接用于第三方审计;
操作便捷:轻量化设计(仅2.5kg)、快速更换滤芯(<1分钟)及可视状态监控,降低使用门槛,适合生产线在线检测。
注意事项
避免交叉污染:采样时需佩戴无粉手套,避免人体皮屑、纤维污染滤芯;更换滤芯需在洁净环境中进行;
环境适应性:避免在强腐蚀性气体(如硫化氢、氯气)或高粉尘浓度(>10⁵颗粒/m³)环境中长时间运行,以免损坏捕集涂层;
定期维护:每3个月清洁一次采样通道(用无水乙醇擦拭),每6个月校准流量传感器,确保长期运行的准确性;
滤芯选择:根据分析需求选择滤芯类型(如透明PET膜用于显微镜观察,PTFE膜用于称重法),并确保与设备型号匹配。
综上,CleanControlling的Particle trap 30001颗粒捕集器通过多机制协同捕集、模块化设计与高兼容性,为工业与科研领域的颗粒污染监测提供了从“采样-分析-报告”的全流程解决方案,是洁净室管理、工艺验证及质量控制的核心工具之一。
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CleanControlling:Particle trap 30001颗粒捕集器-1.jpg
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